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一般用語集

イオンビーム【ion beam】　一般用語集　い

項目	イオンビーム【ion beam】
意味	原子や分子から電子衝撃などによってつくられたイオンを，電場や磁場によって制御して方向性を整えた流れ。加速器，半導体中への不純物注入・表面清浄化・表面加工，表面および内部の分析などに用いられる。